• タッチパネル用ITOガラス製品
  • TN/STN LCD用ITOラス製品
  • AR膜
  • CTP電量式タッチスクリーン
  • TPM Bonding
  • Buwon Index Match Design
  • Outdoor Display Solution

タッチパネル用ITOガラス製品


簡単な紹介

タッチパネル用ITOガラスは電気型タッチパネルと静電容量型タッチパネルの2種類があり、どちらも2枚の導電能力を有する透明薄膜とITOガラスを貼り合わせて作られています。その導電面は相対していて、中間には多数の透明スペーサーがきれいに配列され、2枚を隔てています。この製品はタッチパネルの主要材料で、電気抵抗型(4線或いは5線型)、表面電気容量型等のタッチパネルに使用され、その商品は携帯電話は、GPS、AIO PC、NB、工業用(例えばATM)、医療用等に応用されています。


タッチ式ITOガラス製品の規格

1. ガラス基板厚さ:0.21-3.2mm(お客様の要求による)
2. ガラス基板サイズ:150x150~550x650mm
3. SiO2膜厚:≧20nm
4. ITO膜厚標準規格(お客様の要求による)
類別 抵抗値範囲(Ω/ □) ITO 膜厚 ( nm) 透過率(T550) 抵抗均一性
一般のタッチ制御型ITOガラス 150±30 15±5 ≧89% ≦10%
375±75 15±5 ≧90% ≦10%
400±50 10±5 ≧90% ≦10%
450±50 10±5 ≧90% ≦10%
500±100 10±5 ≧90% ≦8%
高透過タッチ制御型ITOガラス 400±50 10±5 ≧93% ≦10%
500±100 10±5 ≧93% ≦12%
表面電気容量型ITOガラス(T.S / B.S) 500±100 / 200±100 10±5 / 15±5 ≧88%,≧93% ≦10%
650±120 / 175± 75 10±5 / 15±5 ≧88% ≦10%
※気抵抗値範囲と透過率はお客様の要求に基いて変更します。


スパッタリング法

ITO薄膜の製作方法にはスパッタリング、蒸着、ゾルゲル、PLD(Pulse Laser Deposition)、化学気相成長等の種類があります。
スパッタリング法:Sn02及びIn203を焼結してターゲット材にして、それをマイナス電極に置きます。もう一方のプラス電極は基板に置いて、真空環境下でアルゴン等の慣性ガスを注入します。同時に低電圧でアルゴンガスのイオンを快速移動させてプラズマを形成させ、磁場の制御によってプラズマは局限され たターゲット材の表面に絶えず衝突させます。衝撃で遊離したSn02及びIn203は原子或いは分子の形態で基板の表面に累積して薄膜を形成します。
スパッタリング法は製造プロセス温度が比較的低い、付着性がいい、平坦、緻密、均一性がいいので、大面積の基板に適用でき、効率が高い、品質が安定している等のメリットがあります。しかし、設備の価格が非常に高いのが欠点です。スパッタリングは現在ITO導電ガラス基板メーカーが主に使用している製造プロセスです。
Target Surfaces Plasma Emitting


製品パラメータの特性

Transmittance (at 550 nm) vs ITO Thickness (nm) a*, b* value vs ITO Thickness (nm)

TN/STN LCD用ITOラス製品


簡単な紹介

TN / STN LCD TN/STN LCD用ITOは主に液晶ディスプレイに応用されて、すでに日常生活に普及しています。例えば、各種の携帯型電子製品、事務設備、家電用品など、あらゆる所で見ることができます。しかし、市場の新しさを求める要求、目まぐるしく変化する消費習慣、さらには商品製造メーカーのモニターパネルの活発性及びに視覚効果等製品の付加価値要求に対応するため、この製品は液晶カラーテレビ、ノート型パソコン、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ(LCD)、電極等に応用できます。

規格

1. ガラス基板厚さ:0.21-3.2mm(お客様の要求による
2. ガラス基板サイズ:150x150~550x650mm
3. SiO2膜厚:≧20nm
4. ITO膜厚標準規格(お客様の要求による)

類別 抵抗値範圍 (Ω/ □) ITO 膜厚 ( nm) 透過率(T550) 抵抗値均一性
TN / STN LCD ITOガラス ≦120 20±5 ≧86% ≦10%
≦100 23±5 ≧86% ≦10%
≦80 25±5 ≧86% ≦10%
≦60 45±5 ≧84% ≦10%
≦50 55±5 ≧80% ≦10%
≦40 70±5 ≧80% ≦10%
≦30 80±10 ≧80% ≦10%
≦20 100±20 ≧85% ≦10%
≦15 125±20 ≧87% ≦10%
≦10 175±20 ≧82% ≦10%
≦7 220±20 ≧76% ≦10%
≦5 270±80 ≧76% ≦10%


AR膜


簡単な紹介

一般に光学システムが要求しているのは多く光を透過させることです。そのため、表面には必ずAR膜を成膜しなければなりません。 ARを成膜した面は反射率を4%から0.5%にまで低下させることができます。 ユーザーの需要により当社は94~98%の高透過率の成膜ができます。 この製品は主に透過率を向上させた保護パネルに応用されています。


規格

coating code 600
Description Double-side W-band anti-reflection coating for LCD TV front protect glass application.
Ty (550nm) ≧98%


coating code 610
Description W-band anti-reflection coating for LCD TV front protect glass application.
Ty (550nm) ≧94%

CTP電量式タッチスクリーン


Process capability

抵抗率 (ohm/sq) Metal (Mo-Alnd-Mo) < 0.4 ohm/sq.
ITO-1 & ITO -2 +/-10 ohm/sq.
ITOライン抵抗値 (Kohm) ITO-1 Rx +/- 10%
ITO-2 Ry +/- 10%
Layer厚み(A) Metal (Mo/AL/Mo) Tm +/- 10% (50/300/50) (nm)
ITO thickness 20~100 (+/- 15%) (nm)
OC thickness OC: 1~2 (+/-0.3) um
Pattern Design limitation (CD loss) ITO gap/track min.=20um
ITO T/G tolerance +/-3um
Metal gap/track min.=20um
Metal T/G tolerance +/-4um
OC min. open% 200*500 um (min. in design) +/-5um
patterned position精度 (um) metal-OC +/-5um
metal-ITO +/-5um
Buwon生産力 (Max) 60K / month



Structure of product

Panel layout of product



静電容量型タッチスクリーンもITO材料が必要です。消費電力が低くて寿命が長いというメリットがありますが、比較的高いコストにより以前は余り注目されていませんでした。しかし、アップル社のiPhoneが提供したフレンドリーなマンマシーン・インターフェイスとスムーズな操作性能により静電容量型タッチパネルが市場から注目され、各種の電気容量型タッチパネルが競うように市場に投入されてきました。また技術の進歩とロット化に伴い、その生産コストが下がり続け、徐々に電気抵抗型タッチスクリーンを差し替えてきた。
表面静電容量型タッチパネルは単層のITOだけを採用して、指がパネルの表面に触れた時、一定量の電荷が人体に移転します。
これらの電荷の損失を回復するために、画面の四隅から電荷が来る。その電荷がタッチ点の距離に比例するので、タッチ点の位置を計算することができる。


Process flow Raw/Glass incoming :
ステップ1. ステップ5.
Front side NbOx/SiO2/Metal sputtering Front side ITO2 photo & Etching
ステップ2. ステップ.
Front side Metal photo & Etching Top SiO2 sputtering
ステップ3. ステップ7.
Front side OC patterning Top SiO2 patterning
ステップ4. ステップ8.
Front side ITO2 sputtering FQC


表面電容式觸摸屏結構
●從四個角感應
●在表層建立靜電區域
●手指吸收面板電荷

表面静電容量ITO膜は、通常スクリーンの周辺に線性化した金属電極を設置して、角/周辺の対応電磁場の影響を減少させます。またITOと塗層の下にITOマスク層を増設して騒音を遮断することもあります。表面静電容量タッチパネルは少なくとも1回校正しなければ使用できません。相対的に感応静電容量たちパネルと表面静電容量タッチパネルは、比較的厚いカバー層を透過することで、校正の必要がなくなります。感応静電容量型は2層のITO膜上に異なるITOモジュールをエッチングしますが、モジュールの総抵抗、モジュール間の接続線の抵抗、2層のITOモジュール交差場所に生じる寄生電気容量等の要素を考慮しなければなりません。しかも、指の接続を感知するため、ITOモジュールの面積は指先の面積よりも小さくなければならず、ひし形の図案を採用する場合、対角線の長さは通常4-6mmに制御されます。

図3の中で、緑色と青色のITOモジュールは2層のITO塗層上にあり、それらをXとY方向に連続変化するライドレールとして、XとY方向に対して異なるITOモジュールがそれぞれ走査し、接続点の位置と接触点の位置と接触の軌跡を得ます。2層のITO塗層間はPET或いはガラスの隔離層です。後者の光透過性がいいので、さらに大きな圧力を受けることができ、完成品率が良くなります。さらに特殊技術で直接LCD表面に成膜できますが、やや重いのが難点です。この隔離層は薄いほど光透過性がいいのですが、2層のITOの間の寄生電気容量が大きくなります。静電容量式タッチパネルが接触位置を感知し対応する最大電気容量変化値の交差点を感應 静電容量式タッチ スクリーンが感知されたタッチ位置は、最大容量値の変化との交点に対応し、X軸またはY軸には、異なるITO位置の信号量の加重平均値を取ることである。その後、システムはタッチスクリーン上下のLCDでタッチポイントまたは軌跡を表示します。 2本の指が赤色の2箇所に触れた時、軸ごとに2つの最大値があって、この時に2種類の可能な組合せが存在するので、システムは正確に位置を測定して判断することができません。これはいわゆる鏡像点(青い2箇所)です。その他に、タッチスクリーンの下はLCDディスプレイで、その表面も伝導性があり、間近なITO層ITOモジュールと寄生静電ができて、この2層の間でまだある程度の大気圏を保留し寄生静電の影響を低下する必要がある。




静電容量型タッチパネルの解決方法

現在の静電容量型タッチパネルの解決方法の中で、Cypress PSoC製品が編集プロセス、設計に融通性があり、一致性も良好です。さらに高効率のPSoC Express / PSoC designerの開発環境を加えると、業界をリードする地位に就くことがでkます。PSoC CapSense技術は静電容量感応の原理を根拠にCSA或いはCSDモジュールを使用して実現します。PCB或いはタッチパネル上で隣り合う感応モジュールある或いは導線間に寄生電気容量(図4のCp)が存在し、指が隣り合う感応モジュールに接近或いはタッチした時、2つの電気容量が付加されたことに相当するため、それらはCp上の電気容量Cfに並列していることに相当します。PSoとCSAとCSD技術を利用すると、この電気容量上の変化が検知でき、これにより指がタッチしたか否かを確定します。

タッチパネル製品の設計は、性能とコストを考慮する必要があります。電気抵抗型タッチパネルのコストは比較的低いために競争が激しく、また性能や応用面で一定の制限があります。
1. 静電容量型タッチパネルはタッチするだけでよく、圧力で信号を発生させる必要がありません。
2. 静電容量型タッチパネルは生産後1回の校正が必要或いは全く校正を必要としませんが、電気抵抗型技術は習慣的に校正しなければなりません。
3. 静電容量型タッチパネルの部品は取り替える必要がないので、寿命が比較的長いです。電気抵抗型タッチパネルの、上層ITO薄膜は薄くしなければ弾性が出ず、その下部のITO薄膜にタッチすることができません。
4. 静電容量技術は光損失並びにシステムの消費電力上で、電気抵抗型に勝っています。
5. 静電容量型を選択するか、或いは電気抵抗型を選択するかは、スクリーンにタッチする物体で決めます。指先でタッチする場合、静電容量型の方が比較的いいです。タッチペンを使用する場合、そのタッチペンがプラスチック製にしろ金属製にしろ、電気抵抗型でも十分に堪えます。静電容量型もタッチペンが使用できますが、特製タッチペンを使用しなければなりません。
6. 表面静電容量型は大サイズのタッチパネルに使用でき、相対的にコストも低くなりますが、現在はまだ手振り認識をサポートしていません。感応静電容量型は主に中小サイズのタッチパネルに応用され、手振り認識をサポートしています。
7. 静電容量型技術は耐摩損型で寿命が長く、ユーザーの使用時にメンテナンス・コストが低いです。従って、生産メーカーの全体運営費用がさらに低くなります。



静電容量型タッチパネルの発展状況

静電容量型タッチパネルはすでにiPhone及び他のハンドヘルド設備上に応用され、定位置単点軌跡/アナログマウス・ダブルクリックがその基本機能になっています。 そして多数指手振り操作の認識と応用が現在市場のホットな話題になっています。 携帯型応用のうち、ユーザーが手に持ち、片手で操作できるようにするためには、多数指のタッチ/平行移動、進展/圧縮、転回、ページ移動等手振り操作が重要になってきました。

TPM Bonding


Bonding Process




Bonding 評價方式一




Bonding 評價方式二




Bonding 生産力




TPM 製品




OGS TPM 製品


Buwon Index Match (IM) Design


Index Match (IM) Layer


傳統ITO玻璃在蝕刻成線路後,因ITO模的光學特性,在有ITO及無ITO的區域光學差異大,造成蝕刻線路明顯的結果。

而增加IM層的設計,則可縮小蝕刻後線路間的顏色及比對差異。



With IM Structure

增加IM層的設計,可明顯縮小蝕刻線路後的光學差異



Without IM Structure

傳統ITO玻璃在蝕刻成線路後,因ITO模的光學特性,
在有ITO及無ITO的區域光學差異大,造成蝕刻線路明顯的結果。



Compare with Optical

Item T550 Ta* Tb* R550 Ra* Rb* ΔR550 ΔRb*
Without IM With ITO 85.6 0.36 3.9 14.4 -1.2 -11.4 6.3 11.4
Without ITO 91.9 0 0 8.1 0 0
With IM With ITO 88.6 0.2 1.4 11.4 0.1 -2.8 0.2 0.1
Without ITO 88.7 0.2 1.3 11.2 -0.3 -2.9
比較增加IM層前後,蝕刻線路造成的差異:
增加IM的線路間,顏色及比對差異均可獲得明顯的改善。



Current IM Product


富元針對業界驅動IC的面阻值需求,目前量產的產品如下:
Sheet Resistance(Ω/sq) ITO Thickness(nm) transmittance(%)
16+/-2 ≦120 >85.5
22+/-3 ≦85 >84.5
50+/-10 ≦45 >86.0
60+/-20 ≦40 >86.5
80+/-20 ≦35 >87.0
125+/-25 ≦25 >88.5

Outdoor Display Solutions


屋外ディスプレイ用光学フィルター


赤外線防止光学フィルター(IRカットフィルター)は、屋外ディスプレイが長い時間で太陽照射されたから温度上がることが防止し、そして明るい環境で可視性上がられます。 基板ガラス厚み0.3mm~6mmまでの範囲対応可能、表面コーティング層は高温アニーリングにも耐性して、強化ガラスの効果を果たす。




製品メリット


●同時に赤外線(IR)カット及び反射防止の光学特性を有り
●屋外ディスプレイに適用、 LCDパネルに太陽照射を防止、LCD寿命延長を実現
●客先の要求によって、コーティングされたガラスのみ、及び偏光板と貼っても可能
●ガラスは最大サイズ 1,100 × 1,800mm 、厚み6mmまで対応可能



製品構成設計






產品性能




●陽光照射より温度上昇の比較




全ての屋外用ディスプレイ






BUWON光学フィルターガラスのメリット

6層構成デザインはコスト上にメリット有り
        ●現在の分野で9層構成がまだ必要


製品構成は同時に光学AR+IR機能有り
        ●可視エリアの透過率は93%
        ●赤外線防止能力45%


高品質の表面コーティング実力
        ●コーティング層硬度満足9H


ガラスサイズはお客様のニーズより制作可能
        ●ガラス最大サイズ1,100 × 1,800 mm
        ●ガラス厚み 0.4~6mm


連続式なスパッタリング設備は高生産キャパ有り
        ●ガラス55インチの場合、生産能力:21K/月




AR反射防止ガラス


●ガラスに反射防止層をコーティング
●ディスプレイ及び車載品に応用
●タッチセンサーと搭載する可能
●AG(Anti-Glare)及び AF( Anti-指紋)のコーティングと搭載可能


●製品性能






製品用途